نویسنده: ardestangas

در فرآیند لیتوگرافی، که یکی از پیچیده‌ترین مراحل تولید تراشه‌هاست، هلیوم به‌ویژه برای کنترل دقیق و پایداری محیط به کار می‌رود.

آرگون به عنوان یک گاز غیر فعال در محیط‌های خلاء به کار می‌رود. این ویژگی به کاهش واکنش‌های شیمیایی ناخواسته با مواد حساس کمک کرده و در نتیجه کیفیت و خلوص نیمه‌هادی‌ها را بهبود می‌بخشد.