19 آذر مقالات علمی ارسال شده توسط گاز اردستان ۱۴۰۴-۰۲-۱۶ ۰ کاربردهای هلیوم در صنعت نیمههادیها در فرآیند لیتوگرافی، که یکی از پیچیدهترین مراحل تولید تراشههاست، هلیوم بهویژه برای کنترل دقیق و پایداری محیط به کار میرود. ادامه مطالعه